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      安川  SEMISTAR-VD95D

      安川 SEMISTAR-VD95D


      詳細描述


      簡介


      適用于真空環境內最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

      主要參數

      機器人型號: SEMISTAR-VD95D
      構造: 水平多關節形(4個自由度)
      動態范圍: 2300mm
      負載: 95kg/手臂
      本體質量: 1500kg
      重復定位精度: ±0.3mm
      用途: 搬運、潔凈室

      特點

      大動作范圍:最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
      手臂采用連桿機構實現高鋼性。
      采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
      手臂可內置基板傳感器用配線。


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