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      安川  SEMISTAR-MR124

      安川 SEMISTAR-MR124


      詳細描述


      簡介


      適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

      主要參數

      機器人型號: SEMISTAR-MR124
      驅動軸數: 5
      動態范圍: 1215mm
      用途: 搬運、半導體

      特點


      大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
      高速搬運:300枚/小時
      適用:300mm-450mm晶片搬運


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